[实用新型]一种铌酸锂薄膜QPSK光调制器

摘要

本实用新型公开了一种铌酸锂薄膜QPSK光调制器，包括石英基底晶片、铌酸锂薄膜、光学波导、金属薄膜电极以及金属封装管壳。本实用新型的有益效果如下1)缩短了弯曲波导长度和行波电极长度，去掉了直流偏移补偿电极，实现了铌酸锂QPSK光调制器的小型化；2)采用低介电常数的石英材料作为铌酸锂单晶薄膜的基底晶片，实现了微波折射率与光波折射率的良好匹配，提高了铌酸锂QPSK光调制器的调制带宽；3)去掉了直流偏移补偿电极，降低了铌酸锂QPSK光调制器的信号处理复杂性；4)铌酸锂薄膜晶圆的利用率更高，降低了铌酸锂薄膜QPSK光调制器的制造成本。

主权项

一种铌酸锂薄膜QPSK光调制器，其特征在于，包括：光学波导(2)、金属薄膜电极(3)、石英基底晶片(5‑1)、铌酸锂薄膜(5‑2)，所述石英基底晶片(5‑1)为光学级、双面抛光的石英晶片，其厚度为0.1mm至2mm，所述铌酸锂薄膜(5‑2)为光学级、具有单晶结构、切向为X切Y传、厚度为0.1μm至20μm，所述光学波导(2)为钛扩散波导，其扩散宽度为0.1μm至10μm，扩散深度为0.1μm至10μm，所述金属薄膜电极(3)具有行波结构、厚度在0.1μm至30μm；所述铌酸锂薄膜QPSK光调制器还包括用于进行铌酸锂薄膜QPSK光调制器封装的金属封装管壳，所述金属封装管壳包括：金属封装管壳壳体(6‑1)、射频同轴连接器(6‑2)、相位调制器引脚(6‑3)、光纤模块(6‑4)、光纤(6‑5),射频同轴连接器(6‑2)装载于金属封装管壳壳体(6‑1)的外壁上，射频同轴连接器(6‑2)的管脚通过键合引线与金属薄膜电极(3)连接,相位调制器引脚(6‑3)通过键合引线与金属薄膜电极(3)连接,铌酸锂薄膜(5‑2)的光学波导(2)的输入端与输出端分别与光纤模块(6‑4)耦合粘接，光纤(6‑5)从金属封装管壳壳体(6‑1)两侧穿出。