[实用新型]一种太阳能电池片刻蚀设备有效

专利信息
申请号: 201621178676.0 申请日: 2016-10-27
公开(公告)号: CN206505890U 公开(公告)日: 2017-09-19
发明(设计)人: 柯希满;童锐;杨大谊 申请(专利权)人: 太极能源科技(昆山)有限公司
主分类号: H01L21/306 分类号: H01L21/306;H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 上海光华专利事务所31219 代理人: 刘星
地址: 215333 江苏省苏州市昆山*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种太阳能电池片刻蚀设备,所述设备包括第一碱槽、第一水槽、氢氟酸槽及第二水槽;所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液,在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光,以去除所述电池片背面的PN结;所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液;所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃;所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。本实用新型的太阳能电池片刻蚀设备可以取消硝酸的使用,从而不需产生含氮废水,减少了对水资源的污染,并降低了废液处理成本,同时还具备RENA刻蚀所具有的边缘刻蚀、背抛光、去PSG(磷硅玻璃)的作用,其中所述边缘刻蚀通过激光刻蚀法实现。
搜索关键词: 一种 太阳能电池 刻蚀 设备
【主权项】:
一种太阳能电池片刻蚀设备,其特征在于,所述太阳能电池片刻蚀设备包括:第一碱槽;所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液,在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光,以去除所述电池片背面的PN结;第一水槽;所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液;氢氟酸槽;所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃;第二水槽;所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。
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