[实用新型]一种太阳能电池片刻蚀设备有效
申请号: | 201621178676.0 | 申请日: | 2016-10-27 |
公开(公告)号: | CN206505890U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 柯希满;童锐;杨大谊 | 申请(专利权)人: | 太极能源科技(昆山)有限公司 |
主分类号: | H01L21/306 | 分类号: | H01L21/306;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 刘星 |
地址: | 215333 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种太阳能电池片刻蚀设备,所述设备包括第一碱槽、第一水槽、氢氟酸槽及第二水槽;所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液,在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光,以去除所述电池片背面的PN结;所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液;所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃;所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。本实用新型的太阳能电池片刻蚀设备可以取消硝酸的使用,从而不需产生含氮废水,减少了对水资源的污染,并降低了废液处理成本,同时还具备RENA刻蚀所具有的边缘刻蚀、背抛光、去PSG(磷硅玻璃)的作用,其中所述边缘刻蚀通过激光刻蚀法实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 刻蚀 设备 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池片刻蚀设备,其特征在于,所述太阳能电池片刻蚀设备包括:第一碱槽;所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液,在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光,以去除所述电池片背面的PN结;第一水槽;所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液;氢氟酸槽;所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃;第二水槽;所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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