[实用新型]一种四氟化碳的纯化系统有效

专利信息
申请号: 201621180435.X 申请日: 2016-10-27
公开(公告)号: CN206109252U 公开(公告)日: 2017-04-19
发明(设计)人: 肖三;廖恒易;陈艳珊;袁淑筠 申请(专利权)人: 广东华特气体股份有限公司;江西华特电子化学品有限公司
主分类号: C07C19/08 分类号: C07C19/08;C07C17/007;C07C17/38;C07C17/383
代理公司: 北京品源专利代理有限公司11332 代理人: 张海英,林波
地址: 528225 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种四氟化碳的纯化系统,包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔;反应装置包括第二除尘器;第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管;第四进气管竖向设置,其底部位于集尘管内,其顶部贯穿于集尘管的顶部;第四进气管的底部设有气体分布器,位于气体分布器的上方设有气体扰流板;第二排污管设于集尘管的底部;氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接。本实用新型根据上述内容,提出一种四氟化碳的纯化系统,其纯化效果理想,除尘效果好。
搜索关键词: 一种 氟化 纯化 系统
【主权项】:
一种四氟化碳的纯化系统,包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔;其特征在于:所述反应装置包括第二除尘器;所述第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管;所述第四进气管竖向设置,其底部位于所述集尘管内,其顶部贯穿于所述集尘管的顶部;所述第四进气管的底部设有气体分布器,位于所述气体分布器的上方设有气体扰流板;所述第二排污管设于所述集尘管的底部;所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接。
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