[实用新型]湿式蚀刻装置

摘要

本实用新型所揭为一种湿式蚀刻装置，所述湿式蚀刻装置包括一腔体、若干蚀刻液喷嘴一承载平台以及一导引装置。所述腔体包括一进气口以及一出气口。所述若干蚀刻液喷嘴设置于所述腔体中以对一基板进行蚀刻。所述承载平台包括一本体以及若干平台喷嘴。所述本体设置于所述基板下方。所述若干平台喷嘴贯穿所述本体，一液体透过所述若干平台喷嘴提供一液体浮力以承载所述基板。所述导引装置包括若干导引口使所述基板移动，进而解决所述基板的移动问题。

主权项

一种湿式蚀刻装置，其特征在于，包括：一腔体，包括：一进气口，用于导入一蚀刻气体；以及一出气口，用于导出所述蚀刻气体；若干蚀刻液喷嘴，设置于所述腔体中，以对一基板进行蚀刻；一承载平台设置于所述腔体中，包括：一本体，设置于所述基板下方；以及若干平台喷嘴，贯穿所述本体，一液体透过所述若干平台喷嘴提供一向上的液体浮力用以抵销所述基板向下的重力以承载所述基板；以及一导引装置设置于所述乘载平台的一侧，包括若干导引口，藉由所述若干导引口导引所述液体进而使所述基板移动。