[实用新型]一种直写式曝光机用双分镜头

摘要

本实用新型涉及激光曝光技术，具体涉及一种直写式曝光机用双分镜头。现有技术中，一个DMD只能输出一个扫描条带。本实用新型包括两组相互轴对称的棱镜组合，每组棱镜组合均由一个Y轴向导光棱镜、一个X轴向导光棱镜以及一个错位微调棱镜连接组成。图像光线射向本实用新型两个Y轴向导光棱镜的顶面，两个Y轴向导光棱镜将光线沿着Y轴向导向两边，然后分别射入X轴向导光棱镜，光线接着从X轴向导光棱镜射往错位微调棱镜。这个过程中，图像经Y轴向导光棱镜分成两等份，并且在y方向上分离，X轴向导光棱镜使得两部分图像产生x方向上错位，通过错位微调棱镜微调x和y方向上错位的距离，使一个DMD形成两个扫描带，成倍地提高了单DMD所覆盖的面积。

主权项

一种直写式曝光机用双分镜头，其特征在于：包括两组相互轴对称的棱镜组合，每组棱镜组合均由一个Y轴向导光棱镜（10）、一个X轴向导光棱镜（20）以及一个错位微调棱镜（30）连接组成；所述的Y轴向导光棱镜（10）为斜四棱柱形，两组棱镜组合中的Y轴向导光棱镜（10）的顶面边缘对齐后紧靠在一起，两个Y轴向导光棱镜（10）的顶面在同一平面内，并且两个Y轴向导光棱镜（10）之间还要满足以下相互位置条件，即一组平行光垂直于两个导光棱镜（10）的顶面入射后，平行光第一次经两个Y轴向导光棱镜（10）的侧面反射后，反射光的出射方向是相反的；所述的Y轴向导光棱镜（10）的底面连接着X轴向导光棱镜（20）的顶面，X轴向导光棱镜（20）的侧面连接着错位微调棱镜（30）；所述的X轴向导光棱镜（20）上设有一个斜面对着顶面，该斜面的空间角度要能将从X轴向导光棱镜（20）顶面直射下来的光线反射向错位微调棱镜（30）；所述的错位微调棱镜（30）上设有一个斜面，该斜面的空间角度要能将从X轴向导光棱镜（20）射来的光线反射向错位微调棱镜（30）的底面。