[实用新型]化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201621204094.5 | 申请日： | 2016-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN207077306U | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 安俊镐 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种化学机械研磨装置，化学机械研磨装置包括研磨垫，其在化学机械研磨工艺中与基板接触；研磨液供给部，其设置于研磨垫的上部，并将研磨垫的表面分割为多个表面区间，按照各个多个表面区间以相互不同的喷射条件来供给研磨液(slurry)，所述化学机械研磨装置利用供给于研磨垫的研磨液可均匀地调节研磨垫的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括：研磨垫，其在化学机械研磨工艺中与基板接触；研磨液供给部，其设置于所述研磨垫的上部，并将所述研磨垫的表面分割为多个表面区间，按照所述各个多个表面区间以相互不同的喷射条件来供给研磨液。
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