[实用新型]一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台

摘要

本实用新型涉及一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台，属于微纳与超精密制造以及多轴运动平台精密控制领域。包括底座、右侧板、左侧板、上板和微调装置，X轴和Y轴压电叠堆固定在上板，Z轴压电叠堆与其他两个压电叠堆垂直，输入信号驱动三个压电叠堆产生高频振动，带动工件基座上的工件在三维空间产生椭圆运动轨迹，优点是结构新颖、刚度高、平稳性好，四个柔性铰链中心对称分布，易于控制微位移运动平台的运动精度，易于控制微位移运动平台在三维空间中的椭圆轨迹。

主权项

一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台，其特征在于：右侧板，左侧板分别与底座固定连接，上板通过侧板联接孔与右侧板，左侧板顶部固定连接，所述上板上有四个中心对称分布的柔性铰链，工件基座四周与四个柔性铰链连接，X轴压电叠堆后端与上板X轴压电叠堆固定孔连接、前端与柔性铰链相接触，X轴微位移传感器与上板X轴微位移传感器固定孔连接、且位于X轴压电叠堆对侧，Y轴压电叠堆后端与上Y轴压电叠堆固定孔板连接、前端与柔性铰链相接触，Y轴微位移传感器与上板Y轴微位移传感器固定孔连接、且位于Y轴压电叠堆对侧，Z轴压电叠堆顶端与工件基座底部接触、底部通过微调装置与底座连接。