[实用新型]一种用于线切机进刀单元的自重平衡装置

摘要

本实用新型涉及单晶硅装备辅助设备，旨在提供一种用于线切机进刀单元的自重平衡装置。该种用于线切机进刀单元的自重平衡装置包括气缸、双肘接头、钢丝绳、滑轮组、滑轮安装座、线性导轨、进刀单元安装座，用于消除进刀单元自重对硅棒切片时的影响。本实用新型通过控制气缸输出力平衡进刀单元自重，大大增加丝杆传动的使用寿命，提高传动精度，改善硅棒的切片质量。

主权项

一种用于线切机进刀单元的自重平衡装置，用于消除进刀单元自重对硅棒切片时的影响；进刀单元的两侧对称设有钢丝绳限位孔，丝杆、丝杆螺母用于作为传动机构；其特征在于，所述用于线切机进刀单元的自重平衡装置包括气缸、双肘接头、钢丝绳、滑轮组、滑轮安装座、线性导轨、进刀单元安装座；所述进刀单元安装座的主体是回字形水平板，进刀单元穿过回字形水平板中间的方形孔，进刀单元安装座的竖直中轴线上开有丝杆螺母安装孔，用于连接安装进刀单元中的丝杆螺母，实现从进刀单元安装座到进刀单元的传动；回字形水平板的一侧上下各伸出有两端小中间大的梯形结构，梯形结构的底面两侧对称设有线性导轨滑块安装面，用于安装线性导轨滑块，以保证线性导轨的竖直方向；回字形水平板的另一侧分别设有对称的两个通孔及对称的两个气缸安装孔，气缸安装孔用于安装气缸，通孔用于气缸活塞杆穿过；所述线性导轨安装在进刀单元上，进刀单元安装座利用线性导轨滑块安装在线性导轨，使进刀单元能在线性导轨的导向作用下，实现在竖直方向上的直线运动；所述气缸设有两个，对称安装在进刀单元安装座上；且两个气缸的活塞杆能分别穿过进刀单元安装座上对应的通孔；所述双肘接头设有两个，分别通过螺纹连接安装在两个气缸的活塞杆端部；所述滑轮安装座为L型安装座，底面设有安装螺孔；滑轮安装座设有两个，分别对称安装在进刀单元上；滑轮安装座上还设有两个滑轮安装螺孔，用于安装滑轮；所述钢丝绳设有两根，每根钢丝绳的一端用于连接对应的双肘接头，另一端交错绕过对应滑轮组的滑轮后，通过钢丝绳限位孔安装至进刀单元；所述滑轮组设有两组，且每组滑轮组包括两个定滑轮；每个定滑轮分别通过螺纹连接安装在滑轮安装座上，用于调整钢丝绳与进刀单元的连结位置，使两个钢丝绳限位孔与重心在同一竖直平面内。