[实用新型]温度补偿型压力传感器有效
申请号: | 201621225049.8 | 申请日: | 2016-11-15 |
公开(公告)号: | CN206514993U | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 宋金德;宋杰;唐健;焦继伟 | 申请(专利权)人: | 江苏星峰光电科技有限公司 |
主分类号: | G01L19/04 | 分类号: | G01L19/04;G01L1/26 |
代理公司: | 南京汇恒知识产权代理事务所(普通合伙)32282 | 代理人: | 夏恒霞 |
地址: | 224001 江苏省盐城*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了温度补偿型压力传感器,包括传感器本体和温度补偿单元,传感器本体包括壳体、硅环和引线,硅环将壳体内部分为低压腔和高压腔,硅环顶部覆盖有硅膜片,硅膜片的上表面和下表面均粘接有硅酸铝薄片,硅膜片上设置有硅应变计,硅膜片和硅应变计之间设置有绝缘层,温度补偿单元包括差动放大器、AD转换器和单片机。本实用新型的压力传感器工作性能稳定、可靠,可避免在环境温度的变化下硅应变计和硅膜片的击穿现象,且可进行温度补偿,确保压力传感器的测量精确性。 | ||
搜索关键词: | 温度 补偿 压力传感器 | ||
【主权项】:
温度补偿型压力传感器,由传感器本体和温度补偿单元组成,所述温度补偿单元包括差动放大器、AD转换器和单片机,所述单片机还连接有温度传感器,其特征在于,所述传感器本体包括壳体、硅环和引线,所述硅环将壳体内部分为低压腔和高压腔,硅环顶部覆盖有硅膜片,所述硅膜片的上表面和下表面均粘接有硅酸铝薄片,所述硅膜片上设置有硅应变计,所述硅膜片和硅应变计之间设置有绝缘层,所述引线包括4根引出线,分别为正极引出线、负极引出线、电压输出线和数据通讯线,所述差动放大器连接引线中的数据通讯线。
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