[实用新型]特气管路及PECVD设备有效
| 申请号： | 201621226026.9 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN206163456U | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 张晓朋;李翠双;陈志军;甄云云;刘少华;陈晨 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人： | 王荣君 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种特气管路及PECVD设备，属于太阳能电池制备技术领域。本实用新型包括多段特气管，多段特气管的数量等于排列在石墨舟上的硅片的行数加二或列数加二，多段特气管呈一行或一列并与石墨舟上的硅片行或列平行，处于中间部位的各段特气管分别对应一行或一列硅片，处于两端的两个特气管对称分设在呈行列排布的硅片的两端，每段特气管上设有多个特气孔并设有进气孔，每段特气管均设有控制氨气和硅烷流量的质量流量计。本实用新型能够实现太阳能硅片镀膜膜厚折射率均匀精细调整，减少太阳能电池的色差，提高电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 管路 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
一种特气管路，其特征在于包括多段特气管，多段特气管的数量等于排列在石墨舟（13）上的硅片的行数加二或列数加二，多段特气管呈一行或一列并与石墨舟上的硅片行或列平行，处于中间部位的各段特气管分别对应一行或一列硅片，处于两端的两个特气管对称分设在呈行列排布的硅片的两端，每段特气管上设有多个特气孔（15）并设有进气孔（14），每段特气管均设有控制氨气和硅烷流量的质量流量计。
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