[实用新型]一种多晶硅还原炉底盘有效
| 申请号： | 201621229250.3 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN206735808U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 王淑琴;占时友 | 申请（专利权）人： | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)31306 | 代理人： | 唐海波 |
| 地址： | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉底盘，所述多晶硅还原炉底盘上设有电极孔，以所述多晶硅还原炉底盘中心为中心设一正六边形，再以所述正六边形的六条边展开形成6个正六边形，在形成的24个顶点上各分布1个电极孔，外圈电极孔按环向对称紧凑布置，至少布置两圈，形成至少36对电极孔，硅芯按照中心六边形、外圈环向混合搭接，所述7个正六边形的中心分别设有1个进气口，外圈的进气口与环向搭接的硅芯形成同心圆环向布置至少三圈，所述多晶硅还原炉底盘上均布有出气口；可以降低中心温度，避免副反应的生成，提高反应选择性，提高产量，降低消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 底盘 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉底盘，其特征在于，所述多晶硅还原炉底盘上设有电极孔，以所述多晶硅还原炉底盘中心为中心设一正六边形，再以所述正六边形的六条边展开形成6个正六边形，在形成的24个顶点上各分布1个电极孔，外圈电极孔按环向对称紧凑布置，至少布置两圈，形成至少36对电极孔，硅芯按照中心六边形、外圈环向混合搭接，所述7个正六边形的中心分别设有1个进气口，外圈的进气口与环向搭接的硅芯形成同心圆环向布置至少三圈，所述多晶硅还原炉底盘上布有出气口。
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