[实用新型]一种温度自动控制的药液处理装置有效
申请号: | 201621245675.3 | 申请日: | 2016-11-18 |
公开(公告)号: | CN206364041U | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 张淋;郑严严;韩方亚 | 申请(专利权)人: | 苏州宝馨科技实业股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人: | 郝传鑫,贾允 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种温度自动控制的药液处理装置,包括主体框架,所述主体框架内设置有储液槽、处理槽和泵,所述储液槽与所述泵的入口连通,所述泵的出口与所述处理槽连通,所述储液槽、所述处理槽和所述泵组成一个液体循环系统,主体框架内还设置有温度自动控制装置,所述温度自动控制装置包括热交换器、加热装置和温度采集装置,所述热交换器、所述加热装置和所述温度采集装置分别与一电脑控制装置电连接;所述热交换器设置在所述处理槽与所述泵的出口之间;所述加热装置和所述温度采集装置均设置在所述储液槽内。本实用新型能够解决制程过程中的温度不可控和能源消耗较大的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 温度 自动控制 药液 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种温度自动控制的药液处理装置,包括主体框架(1),所述主体框架(1)内设置有储液槽(2)、处理槽(3)和泵(5),所述储液槽(2)与所述泵(5)的入口连通,所述泵(5)的出口与所述处理槽(3)连通,所述储液槽(2)、所述处理槽(3)与所述泵(5)组成一个液体循环系统,其特征在于,还设置有温度自动控制装置,所述温度自动控制装置包括热交换器(4)、加热装置(6)和温度采集装置(7),所述热交换器(4)、所述加热装置(6)和所述温度采集装置(7)分别与一电脑控制装置电连接;所述热交换器(4)设置在所述处理槽(3)与所述泵(5)的出口之间,所述加热装置(6)和所述温度采集装置(7)均设置在所述储液槽(2)内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的