[实用新型]一种温度自动控制的药液处理装置有效

专利信息
申请号: 201621245675.3 申请日: 2016-11-18
公开(公告)号: CN206364041U 公开(公告)日: 2017-07-28
发明(设计)人: 张淋;郑严严;韩方亚 申请(专利权)人: 苏州宝馨科技实业股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司44202 代理人: 郝传鑫,贾允
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种温度自动控制的药液处理装置,包括主体框架,所述主体框架内设置有储液槽、处理槽和泵,所述储液槽与所述泵的入口连通,所述泵的出口与所述处理槽连通,所述储液槽、所述处理槽和所述泵组成一个液体循环系统,主体框架内还设置有温度自动控制装置,所述温度自动控制装置包括热交换器、加热装置和温度采集装置,所述热交换器、所述加热装置和所述温度采集装置分别与一电脑控制装置电连接;所述热交换器设置在所述处理槽与所述泵的出口之间;所述加热装置和所述温度采集装置均设置在所述储液槽内。本实用新型能够解决制程过程中的温度不可控和能源消耗较大的技术问题。
搜索关键词: 一种 温度 自动控制 药液 处理 装置
【主权项】:
一种温度自动控制的药液处理装置,包括主体框架(1),所述主体框架(1)内设置有储液槽(2)、处理槽(3)和泵(5),所述储液槽(2)与所述泵(5)的入口连通,所述泵(5)的出口与所述处理槽(3)连通,所述储液槽(2)、所述处理槽(3)与所述泵(5)组成一个液体循环系统,其特征在于,还设置有温度自动控制装置,所述温度自动控制装置包括热交换器(4)、加热装置(6)和温度采集装置(7),所述热交换器(4)、所述加热装置(6)和所述温度采集装置(7)分别与一电脑控制装置电连接;所述热交换器(4)设置在所述处理槽(3)与所述泵(5)的出口之间,所述加热装置(6)和所述温度采集装置(7)均设置在所述储液槽(2)内。
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