[实用新型]一种MEMS芯片振膜、MEMS麦克风芯片及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201621247490.6 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN206149501U | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 邱冠勋;詹竣凯;周宗燐;蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS芯片振膜，包括振膜本体，所述振膜本体上开设有可启闭的线形泄气孔，所述线形泄气孔在所述振膜本体受到大气压冲击膨胀时打开。本实用新型中的MEMS芯片振膜的振膜本体上开设有可启闭的线形泄气孔，平时正常工作时，线形泄气孔闭合，线形泄气孔在振膜本体下方受到大气压冲击膨胀时打开，大气压通过线形泄气孔泄压，从而保护了振膜不受大气压的冲击而破损。本申请还公开了一种包含该MEMS芯片振膜的MEMS麦克风芯片和MEMS麦克风。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS芯片振膜，其特征在于，包括振膜本体(1)，所述振膜本体(1)上开设有可启闭的线形泄气孔(01)，所述线形泄气孔(01)在所述振膜本体(1)受到大气压冲击膨胀时打开。
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