[实用新型]一种减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置有效
| 申请号： | 201621252926.0 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN206271658U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 蓝文安;张屿;陆前军;付星星;康凯 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 罗晓林,杨桂洋 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，包括蚀刻腔室和装在该腔室上端口的上盖板，腔室内设有射频讯号源，所述上盖板内设有冷却回路，上盖板上设有与冷却回路连通的进管和出管，进管与冷却源连接，出管上设有温度感应器，进管装接有流量调节阀和温度调节装置，上盖板包括由上往下设置的上层板、中层板和下层板，上层板和中层板之间具有夹层间隙，和/或中层板与下层板之间具有夹层间隙，该夹层间隙形成冷却回路。本实用新型通过控制上盖板的温度，使上盖板保持恒温，减少了上腔室蚀刻副产物因受温度影响而造成掉落的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减少 蓝宝石 蚀刻 机台 副产物 掉落 装置 | ||
【主权项】：
一种减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置，包括蚀刻腔室和装在该腔室上端口的上盖板，腔室内设有射频讯号源，其特征在于，所述上盖板内设有冷却回路，上盖板上设有与冷却回路连通的进管和出管，进管与冷却源连接，出管上设有温度感应器。
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