[实用新型]鼓泡板及槽式多功能纳米绒面制备设备有效
| 申请号： | 201621254441.5 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN206236694U | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 阮文娟;吉鑫;李鹏鲲;宫龙飞 | 申请（专利权）人： | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215153 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及鼓泡板及使用该鼓泡板的槽式多功能纳米绒面制备设备，鼓泡板包括上表面和下表面，鼓泡板上分布有若干通孔，并且该通孔从上表面到下表面的孔径逐渐变大；鼓泡板的下表面上安装有用于通入压缩空气的气管，所述气管具有进气口和出气口，气管背向下表面的管壁上排布有若干排气孔。槽式多功能纳米绒面制备设备，包括依次排列的多个工艺槽，全部或部分工艺槽内的底部安装有如上述的鼓泡板。工艺槽内的底部安装有鼓泡板，向气管中通入压缩空气，压缩空气从排气孔中排出，对工艺槽中的液体进行鼓泡，使得工艺槽中的药剂混合的更加均匀，提高药剂与硅片的反应效果，从而提高最终的硅片的绒面的细化度和均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 鼓泡板 多功能 纳米 制备 设备 | ||
【主权项】：
一种鼓泡板，其特征在于：所述鼓泡板(110)包括上表面(112)和下表面(114)，所述鼓泡板(110)上分布有若干通孔(116)，并且该通孔从上表面到下表面的孔径逐渐变大；所述鼓泡板(110)的下表面(114)上安装有用于通入压缩空气的气管(120)，所述气管(120)具有进气口(122)和出气口(124)，所述气管(120)上排布有若干排气孔(126)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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