[实用新型]对准镜筒、对准镜头及光刻机有效
| 申请号： | 201621254599.2 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN206292525U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 刘宝金;刘涛;王喜宝 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G02B7/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 曹桓 |
| 地址： | 300457 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻技术领域，尤其涉及一种对准镜筒、对准镜头及光刻机。对准镜筒包括第一镜筒和第二镜筒；第一镜筒沿长度方向设置有第一光路通道，第一光路通道贯穿第一镜筒；第二镜筒沿长度方向设置有第二光路通道，第二光路通道贯穿所述第二镜筒；第一镜筒的第一端与第二镜筒的第三端可拆卸连接，第一镜筒的长度方向与第二镜筒的长度方向重合；对准镜头包括上述对准镜筒，还包括第一镜片组和第二镜片组；光刻机包括上述对准镜头。本实用新型的目的在于提供一种对准镜筒、对准镜头及光刻机，以解决现有的对准镜筒存在的筒体细长，给机械加工和后期光学镜片的装配带来了难度的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 镜头 光刻 | ||
【主权项】：
一种对准镜筒，其特征在于，包括第一镜筒和第二镜筒；所述第一镜筒沿长度方向设置有用于固设第一镜片组的第一光路通道，所述第一光路通道贯穿所述第一镜筒；所述第二镜筒沿长度方向设置有用于固设第二镜片组的第二光路通道，所述第二光路通道贯穿所述第二镜筒；所述第一镜筒的第一端与所述第二镜筒的第三端可拆卸连接，且所述第一镜筒的长度方向与所述第二镜筒的长度方向重合。
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