[实用新型]一种具备光学成像功能的扫描透射电子显微镜

摘要

本实用新型提供了一种具备光学成像功能的扫描透射电子显微镜，包括产生电子束的电子源、对电子束进行偏转和聚焦的电子光学镜筒、位于电子光学镜筒下方的真空腔室，真空腔室内设有样品载台；以及位于真空腔室下方的光学成像及照明装置；真空腔室内还包括位于样品载台下方的、与定位装置相连的可移动台，可移动台上设有光学镜头和第一电子探测器，定位装置设于真空腔室内壁上，控制可移动台在水平和竖直方向移动；真空腔室底部设有一可视窗口，用于光学镜头与光学成像及照明装置进行光路互连；电子光学镜筒底部还设有第二电子探测器。本实用新型可实现光学观测与SEM观测同步进行，且可在光学观测与STEM观测之间快速切换。

主权项

一种具备光学成像功能的扫描透射电子显微镜，包括：产生电子束的电子源、对所述电子束进行偏转和聚焦的电子光学镜筒、位于所述电子光学镜筒下方的真空腔室，所述真空腔室内设有样品载台；以及位于所述真空腔室下方的光学成像及照明装置；其特征在于，所述真空腔室内还包括：位于所述样品载台下方的、与定位装置相连的可移动台，所述可移动台上设有光学镜头和第一电子探测器，所述定位装置设置于所述真空腔室的内壁上，控制所述可移动台在水平和竖直方向移动；所述真空腔室底部设有一可视窗口，用于所述光学镜头与所述光学成像及照明装置进行光路互连；所述电子光学镜筒底部还设有第二电子探测器。