[实用新型]方向性可重构的微电子机械天线有效

专利信息
申请号: 201621263031.7 申请日: 2016-11-24
公开(公告)号: CN206163710U 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 王德波 申请(专利权)人: 南京邮电大学
主分类号: H01Q3/01 分类号: H01Q3/01;H01Q1/22;H01Q1/38;B81B3/00
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司32200 代理人: 许方
地址: 210023 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种方向性可重构的微电子机械天线,该微电子机械天线以砷化镓为衬底,在衬底上设有微带天线馈线、星型结构微带天线辐射元、MEMS悬臂梁、悬臂梁桥墩。通过对悬臂梁同侧下拉电极施加极性相同大小不同的电压,这样MEMS悬臂梁就会有不同程度的弯曲,从而实现对微波天线方向性的小重构;通过对悬臂梁左右两侧下拉电极施加极性相反的电压,这样MEMS悬臂梁两侧就会产生方向相反的弯曲,从而实现对微波天线方向性的大重构。
搜索关键词: 方向性 可重构 微电子 机械 天线
【主权项】:
方向性可重构的微电子机械天线,其特征在于,该微电子机械天线以砷化镓为衬底,在衬底上设有微带天线馈线、星型结构微带天线辐射元、MEMS悬臂梁、悬臂梁桥墩;所述星型结构微带天线辐射元的任四个辐射端分别与一个悬臂梁桥墩连接,每个悬臂梁桥墩连接一个MEMS悬臂梁,其中,在每个MEMS悬臂梁的下方在悬臂梁桥墩的两侧各设置一个悬臂梁下拉电极,每个悬臂梁下拉电极上设有介质层,每个悬臂梁下拉电极上的介质层与相应的MEMS悬臂梁之间设有牺牲层;未连接悬臂梁桥墩的星型结构微带天线辐射元的辐射端与微带天线馈线连接。
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