[实用新型]一种负压吸附夹具装置有效
| 申请号： | 201621265499.X | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN206241896U | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 卞玉;李坡 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210038 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出的是一种负压吸附夹具装置，由夹具放置槽、负压发生器和导管组成,其中夹具放置槽中放置成膜后的夹具，夹具通过导管与负压发生器相接；工作时，打开负压发生器，打开夹具的盖板，扣上水晶片托盘，将水晶片托盘与打开盖板后的夹具一起翻转，负压气体通过导管使夹具及夹具中的水晶片产生向下的吸附力，使夹具中的水晶片不会粘在夹具盖板上，拿开夹具后夹具上所有的水晶片即转移到晶片托盘上。优点可使夹具上的水晶片在负压的作用完全转移到晶片托盘中，同时由于负压吸附的效果，使存在晶片表面的颗粒杂质也一起被吸走，保证了水晶片加工成产品时的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 夹具 装置 | ||
【主权项】：
一种负压吸附夹具装置，其特征是由夹具放置槽、负压发生器和导管组成,其中夹具放置槽中放置成膜后的夹具，夹具通过导管与负压发生器相接。
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