[实用新型]一种多轴膜厚检测装置

摘要

本实用新型涉及一种多轴膜厚检测装置，包括底板、框架、固定块、检测模块、夹持组件、调节组件和进给组件；底板上固定有框架，框架的上方侧面固定有固定块，固定块的侧面固定有检测模块；测试时，将工件放置在平台上，工件的两个侧面与挡边的内侧平面相贴合，然后压紧块在弹簧的推动下，顶住工件的对角处，从而将工件固定在平台上，之后调节进给组件到指定位置，然后再操作调节组件进一步调平调正工件，最后就能通过检测模块对其进行测试。本实用新型结构简单，操作方便，调节功能全面，自动化程度高，测试效率高。

主权项

一种多轴膜厚检测装置，包括底板、框架、固定块、检测模块、夹持组件、调节组件和进给组件，其特征在于：所述底板上固定有框架，所述框架的上方侧面固定有固定块，所述固定块的侧面固定有检测模块；所述进给组件包括横轴板、第一滑轴器、第一滑块、第一气缸、纵轴板、第二气缸、第二滑轴器和第二滑块，所述横轴板固定在底板上，所述横轴板的上方固定有第一滑轴器，所述第一滑轴器的一端连接有第一气缸，所述第一滑轴器的外侧套设有第一滑块；所述第一滑块的上方固定有纵轴板，所述纵轴板的上方固定有第二滑轴器，所述第二滑轴器的一端连接有第二气缸，所述第二滑轴器的外侧套设有第二滑块。