[实用新型]一种石墨烯生长炉

摘要

一种石墨烯生长炉，包括外层石英管、内层石英管、加热炉内壁、加热炉上盖和温度控制器，所述石墨烯生长炉本体的下部为柜体式设计，且在柜休上设置有水冷装置箱与流量计及真空箱，并在真空箱的内安装有旋片式真空泵，所述石墨烯生长炉本体的上部中间部位及水冷装置箱顶部设置有滑轨式管式炉，所述右管道密封支架与左管道密封支架内侧之间设置有滑轨式管式炉，且右管道密封支架与左管道密封支架及滑轨式管式炉中心点处于平行位置。经过改进后本实用新型可实现快速升温和快速冷却的一体化及自动化，解决了石墨烯材料高温处理后的快速冷却问题，并采用一端固定密封装置，能实现快速安装，缩短石墨烯材料的加工过程时间。

主权项

一种石墨烯生长炉，包括：抽气口(1)、水冷式法兰(2)、外凸起密封环(3)、内法兰(4)、内凸起密封环(5)、半圆形垫块(6)、外层石英管双密封环(7)、右管道密封支架(8)、外层石英管(9)、内层石英管(10)、加热炉内壁(11)、加热炉上盖(12)、温度控制器(13)、左管道密封支架(14)、排气孔(15)、流量计(16)、滑轨式管式炉(17)、水冷装置箱(18)、真空箱(19)、旋片式真空泵(20)、外壁凹形密封槽(21)、螺丝孔(22)、内孔(23)、凹形槽(24)、石墨烯生长炉本体(25)和滑动轨(26)，其特征在于：所述石墨烯生长炉本体(25)的下部为柜体式设计，且在柜休上设置有水冷装置箱(18)与流量计(16)及真空箱(19)，且在真空箱(19)的内安装有旋片式真空泵(20)，所述石墨烯生长炉本体(25)的上部中间部位及水冷装置箱(18)顶部设置有滑轨式管式炉(17)，且滑轨式管式炉(17)安装在滑动轨(26)之上，所述滑动轨(26)的两端设置有右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14)，所述左管道密封支架(14)的左端的密封装置上设置有排气孔(15)，所述右管道密封支架(8)的右端设置内法兰(4)与水冷式法兰(2)及抽气口(1)，所述右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14)内侧之间设置有滑轨式管式炉(17)，且右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14)及滑轨式管式炉(17)的中心点处于平行位置，所述右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14)及滑轨式管式炉(17)中心位置安装有外层石英管(9)，且在外层石英管(9)内孔中安装有内层石英管(10)。