[实用新型]防尘镜头、物镜及LDI光刻机防尘镜有效
| 申请号： | 201621282432.7 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206292529U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 姜浩斌 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种防尘镜头、物镜及LDI光刻机防尘镜，涉及激光直接成像技术领域，包括成像镜筒和防尘物镜，防尘物镜分为物镜镜筒和防尘镜头，防尘镜头的镜筒与物镜镜筒连接。防尘镜头包括镜筒、镜片和密封圈，镜片和密封圈均装配在镜筒的内部，密封圈位于镜筒内部的底层，镜片位于密封圈的上层。该技术方案解决了传统光刻机镜头存在的清洁过程繁琐，清洁后恢复镜片困难的问题，从而简化了光刻机的清洁流程，节省了技术人员清洁后恢复镜片的时间，从而提高了光刻机的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 防尘 镜头 物镜 ldi 光刻 | ||
【主权项】：
一种防尘镜头，其特征在于，包括：镜筒、镜片和密封圈；所述镜片和所述密封圈装配在所述镜筒的内部；所述密封圈位于所述镜筒内部的底层；所述镜片位于所述密封圈的上层；所述密封圈固定所述镜片。
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