[实用新型]光刻机环境监测系统及其远程监控系统有效
| 申请号： | 201621282435.0 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206292531U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 付印凯 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光刻机环境监测系统及其远程监控系统，属于光刻机技术领域。本实用新型公开的一种光刻机环境监测系统，包括光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块，以及信号采集模块、显示模块和环境模块，其中，光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块分别环境模块相连接，环境模块与信号采集模块相连接，信号采集模块与显示模块相连接。通过环境模块直接采集存储的各模块的环境参数，由信号采集模块处理环境参数，显示在显示模块上，是用户可以直观的监测设备的运行状态，实现实时动态的监测光刻机各部件的运行状态，保证设备的运行和及时维修。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 环境监测 系统 及其 远程 监控 | ||
【主权项】：
一种光刻机环境监测系统，其特征在于，包括光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块，还包括：信号采集模块、显示模块和环境模块，其中，所述光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块分别与所述环境模块相连接，所述环境模块与所述信号采集模块相连接，所述信号采集模块与所述显示模块相连接。
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