[实用新型]非接触测量深小孔径尺寸的测量装置

摘要

本实用新型公开的一种非接触测量深小孔径尺寸的测量装置，旨在提供了一种结构简单、测量效率高，利用合像瞄准技术进行绝对测量的非接触式测量装置，本实用新型通过下述技术方案予以实现在底座的上端平面上设有沿X轴方向滑移的移动工作台，底座的侧平面上设有控制移动工作台沿X轴移动的X轴移动伺服电机，按直角坐标系，微调工作台、两个轴线互为垂直的Y轴移动伺服电机和水平调整伺服电机在水平方向它们的轴线相交于坐标原点，坐标原点Z向轴线重合于CCD远心镜头光轴，且水平调整伺服电机受控于计算机；CCD远心镜头通过底座弓形臂正对被测工件，瞄准深小孔，将合像光束伸入被测孔内表面进行测量，并设有一个刻有种基准圆的影像感应器。

主权项

一种非接触测量深小孔径尺寸的测量装置，包括：放置工件的微调工作台（8）及其固定微调工作台（8）的底座（5）和通过计算机控制的CCD远心镜头（1），其特征在于，在底座（5）的上端平面上设有沿X轴方向滑移的移动工作台（7），底座（5）的侧平面上设有控制移动工作台（7）沿X轴移动的X轴移动伺服电机（6），按直角坐标系，微调工作台（8）、两个轴线互为垂直的Y轴移动伺服电机（3）和水平调整伺服电机（4）在水平方向它们的轴线相交于坐标原点，坐标原点Z向轴线重合于CCD远心镜头（1）光轴，且水平调整伺服电机（4）受控于计算机；CCD远心镜头（1）通过底座（5）弓形臂正对被测工件（2），瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，并设有一个刻有基准圆弧（15）的影像感应器（9），影像感应器（9）产生的基准圆弧（15）与被测工件（2）的圆弧边缘影像（13）相交的长度不一致的两个交点。