[实用新型]一种半导体闭管扩散用真空设备

摘要

本实用新型涉及半导体闭管扩散技术领域，尤其涉及一种半导体闭管扩散用真空设备。所述真空设备包括工位接口、放气阀、第一电阻规、旁抽阀、主抽阀、电离规、分子泵、第二电阻规、前级阀和机械泵，所述工位接口通过旁路连接所述机械泵；所述工位接口还通过主路串联所述分子泵后连接到所述机械泵；位于所述旁路上，在所述工位接口与所述机械泵之间串联有所述放气阀、所述第一电阻规、所述旁抽阀；位于所述主路上，在所述工位接口与所述机械泵之间串联有所述主抽阀、所述电离规、所述分子泵、所述第二电阻规和所述前级阀。本实用新型通过提出一种有机械泵和分子泵组成的两级真空设备，分子泵可以快速启动，不含油气，可以提高效率，避免污染。

主权项

一种半导体闭管扩散用真空设备，其特征在于，所述真空设备包括：工位接口(1)、放气阀(2)、第一电阻规(3)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)、电离规(6)、分子泵(7)、第二电阻规(8)、前级阀(9)和机械泵(10)，所述工位接口(1)通过旁路连接所述机械泵(10)；所述工位接口(1)还通过主路串联所述分子泵(7)后连接到所述机械泵(10)；位于所述旁路上，在所述工位接口(1)与所述机械泵(10)之间串联有所述放气阀(2)、所述第一电阻规(3)、所述旁抽阀(4)；位于所述主路上，在所述工位接口(1)与所述机械泵(10)之间串联有所述主抽阀(5)、所述电离规(6)、所述分子泵(7)、所述第二电阻规(8)和所述前级阀(9)。