[实用新型]一种硅片表面的绒面的制造装置

摘要

本实用新型公布了一种硅片表面的绒面的制造装置，包括承载硅片的工件电极和位于工件电极上方的工具电极，工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；工具电极表面上设置有一根或多根电极丝；工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得工具电极和工件电极的表面相对移动。本实用新型采用电火花加工的方式，由多根电极丝从硅片表面滑过，瞬间放电，在硅片表面形成均匀的绒面。通过增加电极丝数量或移动速度的方式，可以快速在硅片表面制造出理想的绒面结构，大幅提高了制绒环节的生产效率。本实用新型相较于其它方法可以大幅减少硅片表面可能产生的金属残留，更有利于电池环节的生产和提高电池的效率，且生产过程不产生有害废弃物，生产各环节非常环保。

主权项

一种硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：其包括承载硅片的工件电极和位于所述工件电极上方的工具电极，所述工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；所述工具电极表面上设置有一根或多根电极丝；所述工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动。