[实用新型]基板翻转装置及包括其的化学机械研磨系统有效
| 申请号： | 201621298208.7 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206287001U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 高永学 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板翻转装置及包括其的化学机械研磨系统，用于化学机械研磨工艺的基板翻转装置包括基板夹紧部，其对基板的侧面进行支撑并使得基板翻转旋转；多个可动夹紧部，其与基板的侧面接触，并设置为能够与基板夹紧部的内面靠近及隔开；多个感知部，其个别地对相对于基板夹紧部的可动夹紧部的靠近进行感知，由此，可得到的效果在于，准确地对基板的夹紧(grip)与否进行感知。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转 装置 包括 化学 机械 研磨 系统 | ||
【主权项】：
一种基板翻转装置，其用于化学机械研磨工艺，其特征在于，包括：基板夹紧部，其支撑基板的侧面并使得所述基板翻转旋转；多个可动夹紧部，其与所述基板的侧面相接触，并设置为能够与所述基板夹紧部的内面靠近及隔开；多个感知部，其个别地感知相对于所述基板夹紧部的所述可动夹紧部的靠近。
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