[实用新型]一种实现同步对向运动的机械装置有效
| 申请号： | 201621308387.8 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206282078U | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李静;赵峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种实现同步对向运动的机械装置，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。本实用新型采用一套同步对向运动输出机构实现两片光学元件的同步对向运动，运动同步性好，且结构和控制简单，对零件的加工精度和装配精度要求较低，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 同步 运动 机械 装置 | ||
【主权项】：
一种实现同步对向运动的机械装置，其特征在于，包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构，第一光学元件和第二光学元件上下设置，所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构，所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件，所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。
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