[实用新型]一种在基材表面制作CD纹的加工系统有效
| 申请号： | 201621310598.5 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN206460256U | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 高长有;王滋峰 | 申请（专利权）人： | 南京京晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司11614 | 代理人： | 王尧 |
| 地址： | 210038 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种在基材表面制作CD纹的加工系统，所述加工系统包括一旋涂式匀胶机；一接近式光刻机；一显影机。所述加工系统为在基材表面精加工出CD纹的方法，所形成的CD纹眩光效果好和立体感强特性且效率高，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基材 表面 制作 cd 加工 系统 | ||
【主权项】：
一种在基材表面制作CD纹的加工系统，其特征在于，所述加工系统包括：一旋涂式匀胶机(100)，形状为一台式，其包括：设置于台面左侧的一个涂胶腔室(102)，设置于台面右侧的第一热板单元(103b)，设置于台面中部的第一操控台，第一操控台上设有第一LCD显示屏(104)，所述涂胶腔室(102)内部设有一旋涂单元(103a)；一接近式光刻机(200)，形状为一台式，其包括：设置于台面右侧的控制单元，设置于台面左侧的基材放置单元，设置于台面下方的汞灯调节单元；控制单元上表面左侧设置一套刻对位CCD显示屏(202)，右侧设置一光照单元；一显影机(300)，形状为一台式，其包括：设置于台面左侧的一个显影腔室(302)，设置于台面右侧的第二热板单元(303)，设置于台面中部的第二操控台，设置于台面下方的显影液储液桶(306)和热板温度控制器(308)。
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