[实用新型]一种真空计动态对比校准装置有效
申请号: | 201621312660.4 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN206269962U | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 王举森;李志超;苏茂峰;刘聪;李大国 | 申请(专利权)人: | 山东中检高科检测技术有限公司 |
主分类号: | G01L27/00 | 分类号: | G01L27/00 |
代理公司: | 青岛申达知识产权代理有限公司37243 | 代理人: | 蒋遥明 |
地址: | 266000 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种真空计动态对比校准装置,包括真空测量系统和控制系统;所述真空测量系统包括真空校准室2、微调平衡器1、真空泵7、标准真空传感器3;真空校准室2上端设置微调气体入口,赤道位置设置被校准真空计10接口和标准真空传感器3接口,下端设置抽真空排气出口并与真空泵7连接;所述控制系统包括控制箱5、控制电缆6;控制电缆6分别与真空测量系统的真空泵7、微调平衡器1、标准真空传感器3连接。本校准装置的真空校准室压力稳定,波动小于3%,保证了对比校准的质量。装置可以同时设定多个校准点真空度,在完成上一校准点的校准后自动进入对下一校准点的校准,工作效率提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空计 动态 对比 校准 装置 | ||
【主权项】:
一种真空计动态对比校准装置,包括真空测量系统和控制系统;所述真空测量系统包括真空校准室(2)、微调平衡器(1)、真空泵(7)、标准真空传感器(3);真空校准室(2)上端设置微调气体入口,赤道位置设置被校准真空计(10)接口和标准真空传感器(3)接口,下端设置抽真空排气出口并与真空泵(7)连接;所述控制系统包括控制箱(5)、控制电缆(6);控制电缆(6)分别与真空测量系统的真空泵(7)、微调平衡器(1)、标准真空传感器(3)连接;微调平衡器(1)一端与大气连通,另一端经汇流管(14)与真空校准室(2)相连,被校准真空计(10)通过真空阀b(9)与真空校准室(2)相连,标准真空传感器(3)通过专用真空阀c(4)与真空校准室(2)相连,真空泵(7)通过真空阀a(8)与真空校准室(2)连接。
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