[实用新型]一种碳基电阻式柔性压力传感器有效
| 申请号： | 201621313382.4 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN206300743U | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 吴幸;刘善彪;张冬冬;郭丛威;谢馨莹;吴婧;王琪 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙)31215 | 代理人： | 徐筱梅,张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳基电阻式柔性压力传感器，传感器呈四层薄膜结构，包括柔性聚酰亚胺薄膜层、银电极层、柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层以及氧化石墨烯薄膜绝缘保护层。当该压力传感器受到压力作用或者发生弯曲应变时，通过测量银电极两端的电阻变化值即可得到压力传感器的受力情况。本实用新型整体呈薄膜状结构，柔性性质好，可在弯曲任意角度的状态下正常工作；灵敏度高，应变系数在2.1‑3之间；压力测量范围广，为10Pa至900kPa；具有很高的分辨率和超快速动态响应，能测出高达10kHz的动态高频压力信号；稳定性质好，通过了8000次以上的稳定性重复测试。其制备工艺简单，设备成本低，适用于可穿戴设备，可用于压力、应变等物理量测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电阻 柔性 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种碳基电阻式柔性压力传感器，其特征在于：该传感器呈四层薄膜结构，包括柔性聚酰亚胺薄膜层、银电极层、柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层以及氧化石墨烯薄膜绝缘保护层，其中，聚酰亚胺薄膜层厚度为20μm ‑200μm；银电极层厚度500nm‑5μm，生长在聚酰亚胺薄膜层两端；柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层厚度为50μm‑600μm，该层呈蜂窝式多孔层状结构；氧化石墨烯薄膜绝缘保护层，厚度20μm‑300μm；柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层与氧化石墨烯绝缘保护层生长在一起，与银电极层粘结在一起。
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