[实用新型]一种三维电磁悬浮微镜有效

专利信息
申请号: 201621313465.3 申请日: 2016-12-02
公开(公告)号: CN206282031U 公开(公告)日: 2017-06-27
发明(设计)人: 肖奇军;M·卡夫;王苑;刘一凡;欧阳思洁 申请(专利权)人: 肇庆学院
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司44245 代理人: 顾思妍
地址: 526060 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种三维电磁悬浮微镜,包括定子和转子,所述定子包括若干块轴向旋转驱动电极、若干块径向旋转驱动电极、公共电极、悬浮线圈、稳定线圈及引脚,若干块轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,若干块径向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,公共电极为圆形;悬浮线圈分布于轴向旋转驱动电极所在圆环的外周,稳定线圈分布于悬浮线圈的外周;所述引脚沿着定子的径向引出;所述转子中心设有反射镜。本实用新型由于采用电磁悬浮结合静电驱动技术,实现微镜的轴向大尺度旋转和径向旋转,实现三维成像,尤其是轴向±180度范围大旋转角度成像。
搜索关键词: 一种 三维 电磁 悬浮
【主权项】:
一种三维电磁悬浮微镜,其特征在于,包括定子和转子,所述定子包括若干块轴向旋转驱动电极、若干块径向旋转驱动电极、公共电极、悬浮线圈、稳定线圈及引脚,若干块轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,若干块径向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,公共电极为圆形;悬浮线圈分布于轴向旋转驱动电极所在圆环的外周,稳定线圈分布于悬浮线圈的外周;所述引脚沿着定子的径向引出;所述转子中心设有反射镜。
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