[实用新型]一种三维电磁悬浮微镜有效
申请号: | 201621313465.3 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN206282031U | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 肖奇军;M·卡夫;王苑;刘一凡;欧阳思洁 | 申请(专利权)人: | 肇庆学院 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人: | 顾思妍 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种三维电磁悬浮微镜,包括定子和转子,所述定子包括若干块轴向旋转驱动电极、若干块径向旋转驱动电极、公共电极、悬浮线圈、稳定线圈及引脚,若干块轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,若干块径向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,公共电极为圆形;悬浮线圈分布于轴向旋转驱动电极所在圆环的外周,稳定线圈分布于悬浮线圈的外周;所述引脚沿着定子的径向引出;所述转子中心设有反射镜。本实用新型由于采用电磁悬浮结合静电驱动技术,实现微镜的轴向大尺度旋转和径向旋转,实现三维成像,尤其是轴向±180度范围大旋转角度成像。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 电磁 悬浮 | ||
【主权项】:
一种三维电磁悬浮微镜,其特征在于,包括定子和转子,所述定子包括若干块轴向旋转驱动电极、若干块径向旋转驱动电极、公共电极、悬浮线圈、稳定线圈及引脚,若干块轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,若干块径向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,公共电极为圆形;悬浮线圈分布于轴向旋转驱动电极所在圆环的外周,稳定线圈分布于悬浮线圈的外周;所述引脚沿着定子的径向引出;所述转子中心设有反射镜。
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