[实用新型]基板旋转装置

摘要

本实用新型涉及一种基板旋转装置，支撑圆形盘形状的基板的同时进行旋转的基板自旋装置，包括固定支撑部，其固定设置以便支撑基板的边缘位置一侧；可动支撑部，其以可朝与基板接近及分离的方向移动的方式设置并支撑相面对固定支撑部的基板的边缘位置另一侧；位置控制部，其在清洗刷子接触于基板的表面期间使可动支撑部从基板分离开来，并在清洗刷子未接触于基板的表面期间使可动支撑部接近于基板，由此能够得到如下效果防止由于支撑部的接触压力偏差而产生基板的变形及破损，并提高基板的清洗均匀度。

主权项

一种基板旋转装置，其为支撑圆形盘形状的基板的同时进行旋转的基板旋转装置，其特征在于，包括：固定支撑部，其固定设置以便支撑基板的边缘位置一侧；可动支撑部，其以可朝与所述基板接近及分离的方向移动的方式设置，并支撑相面对于所述固定支撑部的所述基板的边缘位置另一侧；位置控制部，其在清洗刷子接触于所述基板的表面期间使所述可动支撑部从基板分离开来，并在所述清洗刷子未接触于所述基板的表面期间使所述可动支撑部接近于所述基板。