[实用新型]研磨腔体及靶材打磨清洗机有效
| 申请号： | 201621324326.0 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN206326482U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 周尧;黄康;张颂周 | 申请（专利权）人： | 中航（重庆）微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B24B55/06;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 401331 重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种研磨腔体及靶材打磨清洗机，所述研磨腔体包括腔体主体，所述腔体主体内形成有空腔，所述空腔内填充有与靶材材质相同的研磨颗粒。本实用新型的研磨腔体通过在空腔内填充与靶材材质相同的研磨颗粒，在外界驱动力的作用下可以在设备维护保养时对金属靶材进行打磨清洗工作，打磨清洗的质量较高；金属靶材不与外界直接接触，避免外部污染物进入，不会对金属靶材造成污染，降低保养风险；所述研磨腔体还可以将研磨清洗过程中产生的粉尘控制在所述研磨腔体内，使得研磨清洗可以在无尘室中进行。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 打磨 清洗 | ||
【主权项】：
一种研磨腔体，其特征在于，所述研磨腔体包括：腔体主体，所述腔体主体内形成有空腔，所述空腔内填充有与靶材材质相同的研磨颗粒。
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