[实用新型]抗污染残气分析装置有效
| 申请号： | 201621341891.8 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN206411084U | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 庄集尧;吴柄村 | 申请（专利权）人： | 毅泰成科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一隔离阀以及一加热单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。隔离阀设于真空腔体与残余气体分析仪之间，隔离阀于真空腔体内的压力低于一设定值开启，以让真空腔体内的残余气体进入残余气体分析仪。加热单元于隔离阀开启前及开启后均启动以至少对残余气体分析仪加热。 | ||
| 搜索关键词： | 污染 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种抗污染残气分析装置，其特征在于，包含：一真空计，连接一真空腔体以量测该真空腔体内的压力；一残余气体分析仪，用以量测该真空腔体内的残余气体的成分；一隔离阀，设于该真空腔体与该残余气体分析仪之间，其中该隔离阀于该真空腔体内的压力低于一设定值开启，以让该真空腔体内的该残余气体进入该残余气体分析仪；以及一加热单元，于该隔离阀开启前及开启后均启动以至少对该残余气体分析仪加热。
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