[实用新型]一种便于脱胶的硅片脱胶支架有效
| 申请号： | 201621353042.4 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN206480609U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 张行江 | 申请（专利权）人： | 新昌县儒岙镇心望行机械厂 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司11340 | 代理人： | 王红涛 |
| 地址： | 312500 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种便于脱胶的硅片脱胶支架，包括顶板、竖直立柱、U型框、挡板，所述顶板底部固定有4根竖直立柱，4根竖直立柱组成一矩形阵列，所述竖直立柱所围区域内自上向下固定有若干水平设置的U型框，U型框截面呈L形，所有U型框的开口端均朝向一侧，所述顶板底部固定有一可拆卸的挡板，挡板位于U型框的开口侧。本实用新型通过将U型框设置在竖直立柱所围区域内，使得待脱胶的硅片可相互分开，使得硅片可与脱胶液充分接触，提高脱胶效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 脱胶 硅片 支架 | ||
【主权项】：
一种便于脱胶的硅片脱胶支架，其特征在于：包括顶板(1)、竖直立柱(2)、U型框(20)、挡板(21)，所述顶板(1)底部固定有4根竖直立柱(2)，4根竖直立柱(2)组成一矩形阵列，所述竖直立柱(2)所围区域内自上向下固定有若干水平设置的U型框(20)，U型框(20)截面呈L形，所有U型框(20)的开口端均朝向一侧，所述顶板(1)底部固定有一可拆卸的挡板(21)，挡板(21)位于U型框(20)的开口侧。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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