[实用新型]液位传感器校准装置有效
| 申请号： | 201621354122.1 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN206258170U | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 谭巧敏;黄涛;丁杰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种液位传感器校准装置，包括储液罐；位于储液罐侧壁上且垂直排列的至少两个液位传感器；位于储液罐内，并通过与第一阀门和第二阀门配合，将储液罐隔离成第一腔室和第二腔室的隔离墙壁，其中，第一阀门位于所述储液罐上方，第二阀门位于所述储液罐下方，所述隔离墙壁分别与所述储液罐上方和下方设有预设距离；位于所述储液罐上方、且部分进入所述储液罐内的液流管，其中，所述液流管上设置有第三阀门；位于所述第二腔室上表面的注入口；以及位于所述第二腔室下表面的排泄口。通过本实用新型提供的液位传感器校准装置，解决了利用现有校准装置进行校准时不仅耗费时间、浪费研磨液，而且还降低了校准的效率和准确度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 校准 装置 | ||
【主权项】：
一种液位传感器校准装置，其特征在于，所述液位传感器校准装置包括：储液罐；位于所述储液罐侧壁上且垂直排列的至少两个液位传感器；位于所述储液罐内，并通过与第一阀门和第二阀门配合，将所述储液罐隔离成第一腔室和第二腔室的隔离墙壁，其中，所述第一阀门位于所述储液罐上方，所述第二阀门位于所述储液罐下方，所述隔离墙壁分别与所述储液罐上方和下方设有预设距离；位于所述储液罐上方、且部分进入所述储液罐内的液流管，其中，所述液流管上设置有第三阀门；位于所述第二腔室上表面的注入口；以及位于所述第二腔室下表面的排泄口。
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