[实用新型]一种电子束控制装置

摘要

本实用新型公开了一种电子束控制装置，包括电子加速器产生相应的电子束通过格栅和钛膜引出；通过设置在格栅上的多组通孔引出待检测的电子束流；通过与各组通孔相配合的扫描边界检测装置以对实时引出电子束是否超出扫描边界进行检测；通过与扫描边界检测装置通信连接的扫描控制系统调节扫描线圈的参数，进而调整电子速的扫描边界大小；通过与检测装置连接的束流控制系统调节束流大小,达到束流实时稳定引出效果，同时达到实时动态监测效果。本实用新型提供一种电子束控制装置，通过在线测量电子束扫描边界，从而控制扫描参数，从而实现电子束引出扫描窗口大小全自动调试和束流稳定目的，该方法简单可靠，且成本低廉，进而获得更好的调试效果。

主权项

一种电子束控制装置，其特征在于，包括：电子加速器；设置在电子加速器电子束引出窗下方的格栅，所述格栅长方向两端分别设置有多组可引出电子束流的通孔；设置在格栅下方以与通孔相配合实现电子束流检测的扫描边界检测装置；所述扫描边界检测装置通信连接至电子加速器的扫描控制系统。