[实用新型]硅片分选上下料机器人系统有效

专利信息
申请号: 201621355689.0 申请日: 2016-12-12
公开(公告)号: CN206225390U 公开(公告)日: 2017-06-06
发明(设计)人: 黄小伟;田智勇 申请(专利权)人: 上海考迈机器人有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201811 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种硅片分选上下料机器人系统,其包括清洗烘干机、料框、料框定位机、空盒回流输送线、料盒、料盒上料机构、分选机、分选机料框、料盒定位平台等,清洗烘干机传输线从清洗烘干机中间穿过并延长离分选机端面0.9m的距离,料框定位机放在清洗烘干机传输线后端两条尼龙链条的下方相应位置,料框定位机、料盒旋转输送线、空框回流输送线都与料盒与空框提取机构相连,料盒定位平台、料盒与空框提取机构都与料盒旋转输送线相连等。本实用新型能够提高生产效率,提高准确度,结构简单,成本低廉,使用方便。
搜索关键词: 硅片 分选 上下 机器人 系统
【主权项】:
一种硅片分选上下料机器人系统,其特征在于,其包括清洗烘干机、料框、料框定位机、空盒回流输送线、料盒、料盒上料机构、分选机、分选机料框、料盒定位平台、料盒旋转输送线、空盒输送线、料盒与空框提取机构、空框回流输送线、清洗烘干机传输线,清洗烘干机传输线从清洗烘干机中间穿过并延长离分选机端面0.9m的距离,料框定位机放在清洗烘干机传输线后端两条尼龙链条的下方相应位置,料框定位机、料盒旋转输送线、空框回流输送线都与料盒与空框提取机构相连,料盒定位平台、料盒与空框提取机构都与料盒旋转输送线相连,空盒回流输送线、料盒定位平台、分选机、分选机料框都与料盒上料机构相连,料盒定位平台、空盒输送线都与空盒回流输送线相连,料框与清洗烘干机传输线相连。
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