[实用新型]硅片分选上下料机器人系统有效
申请号: | 201621355689.0 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN206225390U | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 黄小伟;田智勇 | 申请(专利权)人: | 上海考迈机器人有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201811 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片分选上下料机器人系统,其包括清洗烘干机、料框、料框定位机、空盒回流输送线、料盒、料盒上料机构、分选机、分选机料框、料盒定位平台等,清洗烘干机传输线从清洗烘干机中间穿过并延长离分选机端面0.9m的距离,料框定位机放在清洗烘干机传输线后端两条尼龙链条的下方相应位置,料框定位机、料盒旋转输送线、空框回流输送线都与料盒与空框提取机构相连,料盒定位平台、料盒与空框提取机构都与料盒旋转输送线相连等。本实用新型能够提高生产效率,提高准确度,结构简单,成本低廉,使用方便。 | ||
搜索关键词: | 硅片 分选 上下 机器人 系统 | ||
【主权项】:
一种硅片分选上下料机器人系统,其特征在于,其包括清洗烘干机、料框、料框定位机、空盒回流输送线、料盒、料盒上料机构、分选机、分选机料框、料盒定位平台、料盒旋转输送线、空盒输送线、料盒与空框提取机构、空框回流输送线、清洗烘干机传输线,清洗烘干机传输线从清洗烘干机中间穿过并延长离分选机端面0.9m的距离,料框定位机放在清洗烘干机传输线后端两条尼龙链条的下方相应位置,料框定位机、料盒旋转输送线、空框回流输送线都与料盒与空框提取机构相连,料盒定位平台、料盒与空框提取机构都与料盒旋转输送线相连,空盒回流输送线、料盒定位平台、分选机、分选机料框都与料盒上料机构相连,料盒定位平台、空盒输送线都与空盒回流输送线相连,料框与清洗烘干机传输线相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的