[实用新型]检查系统有效

专利信息
申请号: 201621368222.X 申请日: 2016-12-13
公开(公告)号: CN206348279U 公开(公告)日: 2017-07-21
发明(设计)人: 岸由美子;日野真;坂井直树 申请(专利权)人: 株式会社理光
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/49
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司11243 代理人: 龚伟,杨继平
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实用新型公开了一种检查系统。该对具有透光性的片状的检查对象物进行检查的检查系统包括摄像装置,对检查对象物进行摄像;第一光源,对摄像装置的摄像区域照射光,以使摄像装置从检查对象物的表面主要接收漫反射光;以及检查装置,检查对象物有无缺陷,其中,检查装置具有检测部,该检测部基于利用摄像装置所得到的摄像图像来检测检查对象物的缺陷。
搜索关键词: 检查 系统
【主权项】:
一种检查系统,其对具有透光性的片状的检查对象物进行检查,其特征在于,所述检查系统包括:摄像装置,对所述检查对象物进行摄像;第一光源,对所述摄像装置的摄像区域照射光,以使所述摄像装置从所述检查对象物的表面主要接收漫反射光;以及检查装置,检查所述对象物有无缺陷,其中,所述检查装置具有检测部,该检测部基于利用所述摄像装置所得到的摄像图像来检测所述检查对象物的缺陷。
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