[实用新型]一种激光干涉仪干涉镜调整平台

摘要

本实用新型涉及一种激光干涉仪干涉镜调整平台，包括三角支架、调平螺栓、平台、干涉镜、编码器、同步电机、上法兰、下法兰和精密回转轴，其中，干涉镜安装在平台上，平台下端连述精密回转轴，精密回转轴通过深沟球轴承安装在上法兰和下法兰内部，精密回转轴下端与同步电机连接，同步电机带动回转轴实现平台回转，所述上法兰和所述下法兰设置在三角支架上，三角支架实现支撑平台大幅度的水平调节，本实用新型实现了干涉镜空间角度调平调正，能够应用于校检垂直轴线性、垂直度等对调光技能要求高的场合，也可用于水平轴线性测量调光，提高了校验调整效率。

主权项

一种激光干涉仪干涉镜调整平台，其特征在于，包括：三角支架、调平螺栓、平台、干涉镜、编码器、同步电机、上法兰、下法兰和精密回转轴，其中，所述干涉镜安装在所述平台上，所述平台下端连接所述精密回转轴，所述精密回转轴下端与所述同步电机连接组成回转机构，同步电机带动回转轴实现所述平台回转，所述精密回转轴通过深沟球轴承安装在所述上法兰和所述下法兰内部，所述同步电机位于所述下法兰下方，所述编码器设置在所述同步电机下方，所述上法兰和所述下法兰设置在三角支架上，其中：所述三角支架包括：支撑板、支撑杆、支撑平台和支撑垫板，其中，所述支撑板安装在所述支撑平台上侧，所述支撑平台下端通过回转锁紧螺钉安装三根可合并和伸缩的支撑杆，实现支撑平台大幅度的水平调节和三根支撑杆开合角度的调整，所述支撑杆下端与所述支撑垫板连接，所述调平螺栓安装在所述支撑垫板上，实现支撑平台小幅度的水平调节。