[实用新型]双电容式微机械加速度传感器及基于其的温度自补偿系统

摘要

本实用新型公开了一种双电容式微机械加速度传感器及基于该双电容式微机械加速度传感器的温度自补偿系统，双电容式微机械加速度传感器包括两类栅极和两类固定铝电极，分别对应两个输出端，这两个输出端分别与两个差分电容电压转换电路的输入端相连，差分电容电压转换电路的输出端分别和高频载波发生器的输出端与相干解调器的输入端相连，相干解调器的输出端与低通滤波器的输入端相连，低通滤波器的输出端与温度自补偿电路的输入端相连。该系统不需要外加温度传感器来测量加速度传感器的温度，排除了由于温度梯度而造成的温度测量误差对补偿精度的影响，提高了温度补偿精度，同时消除了温度系数的非线性特性对温度补偿结果的影响。

主权项

一种双电容式微机械加速度传感器，其特征在于：包括栅极单元和固定铝电极单元，所述栅极单元包括N个宽栅极以及与宽栅极数量相等的窄栅极；所述固定铝电极单元包括2N个宽固定铝电极以及与宽固定铝电极数量相等的窄固定铝电极；N大于等于1；所述宽栅极的极板宽度大于窄栅极；所述宽固定铝电极的极板宽度大于窄固定铝电极；宽栅极与相对应两个宽固定铝电极构成第一电容，窄栅极与相对应两个窄固定铝电极构成第二电容；宽栅极和相对应的宽固定铝电极的交叠部分，与窄栅极和相对应的窄固定铝电极的交叠部分的宽度不同。