[实用新型]一种膜厚测试仪有效
| 申请号： | 201621384007.9 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN206330562U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 赵俊华 | 申请（专利权）人： | 沈阳聚智真空设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种膜厚测试仪，涉及一种真空镀膜技术领域。该实用新型包括主机和设置在主机上的探头机构，主机包括主板、后面板和前面板，主板上设置有电源板、显示单元、振荡器采样单元、按键单元和单片机控制单元，单片机控制单元分别与电源板、显示单元、振荡器采样单元、按键单元连接，探头机构包括探头主体和装晶片外盖。本实用新型可以实现6路实时测量，通过液晶显示能够连续获取完整的镀膜数据，并且通过探头机构和6MHz平面石英测厚晶片这两样附件提供的较高测量灵敏度，以适应您的镀膜重复性技术要求所需的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试仪 | ||
【主权项】：
一种膜厚测试仪，其特征在于，包括主机和设置在所述主机上的探头机构，所述主机包括主板、后面板和前面板，所述主板上设置有电源板、显示单元、振荡器采样单元、按键单元和单片机控制单元，所述单片机控制单元分别与所述电源板、所述显示单元、所述振荡器采样单元、所述按键单元连接，所述探头机构包括探头主体和装晶片外盖。
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