[实用新型]一种深紫外光学系统共焦对准装置有效
| 申请号： | 201621385190.4 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN206363009U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 卢增雄;齐月静;王宇;苏佳妮;齐威;杨光华;周翊;孟庆宾 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B27/09;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司11619 | 代理人： | 郎志涛 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克‐哈特曼波前传感器(7)。本实用新型基于该装置的结构，进行深紫外光学系统与球面反射镜的共焦对准调整，利用共焦对准模型采集样本，实现快速、高精度的共焦对准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 光学系统 对准 装置 | ||
【主权项】：
一种深紫外光学系统共焦对准装置，其特征在于，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克‐哈特曼波前传感器(7)；其中，小孔板(1)衍射产生球面波经准直物镜(2)后得到平行光束，经分束板(3)反射后被共轭成像物镜聚焦到深紫外光学系统(5)的物面上，经深紫外光学系统后得到深紫外光学系统会聚光束(501)，深紫外光学系统会聚光束(501)经球面反射镜(6)反射后得到球面反射镜会聚光束(601)，球面反射镜会聚光束(601)进入深紫外光学系统(5)和共轭成像物镜(4)后再一次成为平行光束，该平行光束透过分束板(3)后进入夏克‐哈特曼波前传感器(7)，在夏克‐哈特曼波前传感器探测器上形成光斑阵列。
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