[实用新型]硅基APD/PIN低串扰自校正复合光电探测器

摘要

本实用新型公开了硅基APD/PIN低串扰自校正复合光电探测器，包括由四个象限元构成的线性光敏面象限组，在各象限之间制作环形二极管，象限组中心位置为圆形区域。象限组中的四个象限单元均为扇形且面积相等，圆形区域与四个扇形区域拼接在一起组成圆形的光敏面。本新型复合光电探测器结构设计合理，激光探测光敏面大，灵敏度高，信号输出一致性好，动态范围大。

主权项

硅基APD/PIN低串扰自校正复合光电探测器的新型结构，该新型结构包括由四个形状为扇形的PIN光电二极管组成扇形象限组、圆形光电二极管，环形二极管组成以及象限间防电学和光学串扰的trench多晶槽结构，其特征是，所述扇形象限组成的四象限组PIN，形状为扇形且面积相等；象限组中心位置为圆形雪崩光电二极管APD；圆形雪崩光电二极管APD与扇形四象限PIN同心设置在一起构成圆形的光敏面。