[实用新型]一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备

摘要

本实用新型涉及一种晶圆清洗设备，尤其涉及一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备。本实用新型要解决的技术问题是提供一种清洗效果好、清洗速度快的理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备，包括有底板、左架、支撑杆、清洗池、出液管、阀门、网板、轴承座、转轴、绕线轮、旋转电机、搅拌叶片、第一定滑轮等；底板顶部左端焊接有左架，底板顶部右侧右侧对称焊接有支撑杆，支撑杆顶端焊接有清洗池。本实用新型达到了清洗效果好、清洗速度快的效果，并且结构简单、操作方便，减小了工人的劳动强度，提高了工人的工作效率，晶圆表面清洗彻底。

主权项

一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备，其特征在于，包括有底板（1）、左架（2）、支撑杆（3）、清洗池（4）、出液管（5）、阀门（6）、网板（7）、轴承座（8）、转轴（9）、绕线轮（10）、旋转电机（11）、搅拌叶片（12）、第一定滑轮（13）、第一拉线（14）、支架（15）、第二定滑轮（16）、固定杆（17）、固定板（18）、凸起（19）、滑轨（20）、滑块（21）、顶板（22）、第一弹簧（23）、L型连杆（24）、支杆（25）、弧形摆动杆（26）、顶块（27）、第二弹簧（28）、固定环（29）、第三定滑轮（30）、第二拉线（31）、铰接部件（32）、清洗箱（33）、箱盖（35）和合页（36），底板（1）顶部左端焊接有左架（2），底板（1）顶部右侧右侧对称焊接有支撑杆（3），支撑杆（3）顶端焊接有清洗池（4），清洗池（4）右壁底部设有出液管（5），出液管（5）上设有阀门（6），清洗池（4）内下部通过螺钉连接的方式连接有网板（7），清洗池（4）底部中心通过螺栓连接的方式连接有轴承座（8），轴承座（8）内的轴承上过盈连接有转轴（9），转轴（9）顶部左右对称设有搅拌叶片（12），搅拌叶片（12）位于清洗池（4）内，转轴（9）下部通过键连接的方式连接有绕线轮（10），绕线轮（10）上绕有第一拉线（14），底板（1）顶部中间通过螺栓连接的方式连接有旋转电机（11），旋转电机（11）的输出轴通过联轴器与转轴（9）连接，左架（2）右侧下部通过支架（15）焊接有第一定滑轮（13）和第二定滑轮（16），第二定滑轮（16）位于第一定滑轮（13）上方，左架（2）右侧中部对称焊接有固定杆（17），固定杆（17）右端焊接有固定板（18），固定板（18）右侧均匀焊接有凸起（19），左架（2）右侧上部通过螺栓连接的方式连接有滑轨（20），滑轨（20）上滑动式连接有滑块（21），滑块（21）与滑轨（20）配合，第一拉线（14）穿过左侧支撑杆（3），绕过第一定滑轮（13）和第二定滑轮（16），再穿过固定杆（17），并通过挂钩连接的方式与滑块（21）底部连接，滑块（21）右侧焊接有L型连杆（24），左架（2）顶端焊接有顶板（22），顶板（22）底部与L型连杆（24）之间通过挂钩连接的方式对称连接有第一弹簧（23），L型连杆（24）中部左侧焊接有支杆（25），支杆（25）左端通过铰接部件（32）连接有弧形摆动杆（26），弧形摆动杆（26）左端焊接有顶块（27），顶块（27）与凸起（19）配合，L型连杆（24）下部右侧通过支架（15）焊接有第三定滑轮（30），L型连杆（24）底端通过铰接部件（32）连接有清洗箱（33），清洗箱（33）上均匀开有通孔（34），清洗箱（33）右壁底部通过螺钉连接的方式连接有合页（36），合页（36）上通过螺钉连接的方式连接有箱盖（35），固定环（29）上固定有第二拉线（31），第二拉线（31）绕过第三定滑轮（30），并且与清洗箱（33）连接。