[实用新型]一种改进的中频感应加热设备

摘要

本实用新型涉及中频感应加热炉技术领域，具体地说是一种改进的中频感应加热设备，其特征在于，所述的真空炉壳体的中心轴线与真空炉壳体的安装地面的夹角为1～10°；位于石墨坩埚的中心轴线下部的石墨坩埚的至少开口端侧设有石墨挡板；在石墨坩埚的开口端的端面上罩设有收集器，所述的收集器呈圆台筒形，且与石墨坩埚连接处的收集器的开口端的直径大于收集器的尾端的直径。本实用新型与现有技术相比，采用改进的中频加热炉制备氧化亚硅，能使产量高、成本低其中采用倾斜布置的炉体、增加石墨挡板、收集器的形状设计使产品的得率高，与传统电阻炉相比，产量大大增加，单位产品能耗低。

主权项

一种改进的中频感应加热设备，包括真空炉壳体(6)、感应线圈(8)、保温隔热层(9)、石墨坩埚(10)、收集器、炉盖(15)、水冷系统(14)、中频电源(4)、中频馈电装置(5)、抽真空系统、测温系统，其特征在于，所述的真空炉壳体(6)的中心轴线与真空炉壳体(6)的安装地面的夹角为1～10°；位于石墨坩埚(10)的中心轴线下部的石墨坩埚(10)的至少开口端侧设有石墨挡板(11)；在石墨坩埚(10)的开口端的端面上罩设有收集器(12)，所述的收集器(12)呈圆台筒形，且与石墨坩埚(10)连接处的收集器(12)的开口端的直径大于收集器的尾端的直径。