[实用新型]一种用于晶圆的测试系统有效
| 申请号： | 201621415299.8 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN206292349U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 吴俊;袁志伟 | 申请（专利权）人： | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司44262 | 代理人： | 黄国豪 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于晶圆的测试系统，包括测试仪、第一继电模块、单片机、第二继电模块和第三继电模块，测试仪用于对晶圆进行第一测试，第一继电模块用于连接在测试仪和晶圆之间，第一继电模块用于接收测试仪输出的第一通断信号，单片机接收测试仪的启动信号，单片机通过加密算法对晶圆进行第二测试，第二继电模块用于连接在单片机和晶圆之间，第二继电模块用于接收测试仪输出的第二通断信号，第三继电模块连接在测试仪和单片机之间，第三继电模块接收测试仪输出的第三通断信号。通过测试仪和单片机分别对芯片进行不同测试，并利用继电模块进行切换，其能够大大提升测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种用于晶圆的测试系统，其特征在于，包括：测试仪，所述测试仪用于对所述晶圆进行第一测试；第一继电模块，所述第一继电模块用于连接在所述测试仪和所述晶圆之间，所述第一继电模块用于接收所述测试仪输出的第一通断信号；单片机，所述单片机接收所述测试仪的启动信号，所述单片机通过加密算法对所述晶圆进行第二测试；第二继电模块，所述第二继电模块用于连接在所述单片机和所述晶圆之间，所述第二继电模块用于接收所述测试仪输出的第二通断信号；第三继电模块，所述第三继电模块连接在所述测试仪和所述单片机之间，所述第三继电模块接收所述测试仪输出的第三通断信号。
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