[实用新型]一种用于晶圆的贴膜装置和撕膜装置

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆的贴膜装置和撕膜装置，贴膜装置包括基座和上盖，上盖可旋转地打开和盖合在基座上，其中，贴膜装置还包括工作台、圆盘、滚轮机构和切割机构，工作台安装在基座上，工作台为圆形的陶瓷托盘，陶瓷托盘用于承载晶圆，滚轮机构设有滚轮，滚轮位于陶瓷托盘的上方并沿陶瓷托盘的直径方向移动，上盖在朝向陶瓷托盘位置设有圆通孔，圆盘覆盖在圆通孔上，切割机构安装在圆盘上，切割机构设有切割刀和旋转手柄，切割刀位于圆盘在朝向陶瓷托盘方向，旋转手柄设置在圆盘的圆周上，旋转手柄与切割刀位于圆盘的同一半径方向上，旋转手柄用于控制圆盘的旋转。贴膜装置可对不同规格的晶圆进行贴膜，结构简单，提高了生产效率和良品率。

主权项

一种用于晶圆的贴膜装置，包括基座和上盖，所述上盖可旋转地打开和盖合在所述基座上，其特征在于：所述贴膜装置还包括工作台、圆盘、滚轮机构和切割机构；所述工作台安装在所述基座上，所述工作台为圆形的多孔结构陶瓷托盘，所述陶瓷托盘用于承载晶圆；所述滚轮机构设有滚轮，所述滚轮位于所述陶瓷托盘的上方并沿所述陶瓷托盘的直径方向移动；所述上盖在朝向所述陶瓷托盘位置设有圆通孔，所述圆盘覆盖在所述圆通孔上，所述切割机构安装在所述圆盘上；所述切割机构设有切割刀和旋转手柄，所述切割刀位于所述圆盘在朝向所述陶瓷托盘方向，所述旋转手柄设置在所述圆盘的圆周上，所述旋转手柄与所述切割刀位于所述圆盘的同一半径方向上，所述旋转手柄用于控制所述圆盘的旋转。