[实用新型]一种用于金属菱形外壳封装集成电路烧结的夹具有效
申请号: | 201621416995.0 | 申请日: | 2016-12-22 |
公开(公告)号: | CN206422056U | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 高鹏;陶霜;胡锐;尹国平;夏自金;聂平健 | 申请(专利权)人: | 贵州振华风光半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/70;H01L21/56 |
代理公司: | 贵阳中工知识产权代理事务所52106 | 代理人: | 刘安宁 |
地址: | 550018 贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 一种用于金属菱形外壳封装集成电路烧结的夹具,由底座、固定片一、固定片二、固定块、压力柱组成,底座为一长方体,置于夹具底部,其中间有插槽,插槽右有细插杆、左有粗插杆;固定片一为圆形,置于放有基片的管基上,其上有开孔;固定片二为圆形,置于管基上,四周开有圆孔,中间开有特形孔;固定块为∏形,处于夹具顶部,顶面开有大圆孔和小圆孔;压力柱上为圆帽、下为圆柱,置于固定块大圆孔中。本夹具根据集成电路内部结构的特点设计制作,能够对集成电路内部的基片、芯片、分立器件起到水平固定作用和垂直施压,保障集成电路烧结后集成电路的一致性,同时提高烧结质量。该夹具结构简单,易实施。适用于金属菱形外壳封装集成电路的烧结过程。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 金属 菱形 外壳 封装 集成电路 烧结 夹具 | ||
【主权项】:
一种用于金属菱形外壳封装集成电路烧结的夹具,其特征在于它由底座(1)、固定片一(6)、固定片二(8)、固定块(13)、压力柱组成,底座(1)置于夹具底部,为一长方体,其中间有插槽(4),插槽(4)中有一凸块,插槽(4)一边有细插杆(2),另一边有粗插杆(3);固定片一(6)为圆形,置于放有基片的管基上,其上有开孔(7);固定片二(8)也为圆形,置于完成基片烧结的管基上,其四周开有圆孔(9),中间开有特形孔;固定块(13)为∏形体,置于固定片二(8)之上,处于夹具顶部,其顶开有一大圆孔(15)和两个小圆孔(16,17);压力柱上为圆帽(19)、下为圆柱(18),置于固定块大圆孔(15)中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造